磷肥廢料變身減碳利器，兼顧品質+環保

氫氟酸是半導體濕式蝕刻製程的重要化學品，一般以螢石為原料，因取得不易且精煉程序繁複，產製過程較難降低碳排放量；台積公司視推動綠色低碳供應鏈為ESG的重要一環，為促進環境永續發展，民國110年起與供應商合作投入氫氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥產製過程衍生的廢料─氟矽酸搭配硫酸進行化學反應後產製氫氟酸，且為使品質符合半導體製程標準，台積公司除輔導供應商提前於進料階段即提供品質保證證明（CoA）外，同時協助其開發獨立產線進行測試，經反覆調整以達製程最適化，確保後續生產品質無虞。

台積公司深化綠色效益，積極輔導供應商擴大使用磷肥廢料產製氫氟酸，預計民國113年底完成第二條獨立產線後，可再降低螢石用量，總計減碳逾4萬公噸；除精進原料品質，台積公司亦持續尋求永續使用的改善機會點，由品質暨可靠性組織持續與各廠合作，進行電子級硫酸及電子級異丙醇內循環再利用、氫氟酸液體廢料再製氟氣的評估，同時輔導供應商開發相關技術，朝資源永續再生的目標邁進。