.png)
文章摘要
台積電（南京）攜手供應商優化TMAH廢液處理系統，採用強酸性陽離子交換樹脂搭配上進水機制，並改良控制程式與調整鹽酸參數。經過2年半運作，成功將樹脂壽命從8個月延長至30個月、提高再生TMAC濃度，每年減少387公噸廢液並節省約新台幣1,670萬元，以實際行動落實責任生產，深化資源使用價值。
------------------------------
呼應聯合國永續發展目標（SDGs）第12項─責任消費與生產，台積公司持續精進廢液處理與減廢效率，針對四甲基氫氧化銨（TMAH）廢液處理系統，台積電（南京）攜手供應商透過強酸性陽離子交換樹脂（SAC）搭配上進水（Top-inlet）機制，並優化鹽酸濃度與用量，強化系統運轉性能；經過2年半實際運作，樹脂使用壽命由8個月延長至30個月，再生的四甲基氯化銨（TMAC）濃度由10%提升至12.3%，實現年減TMAC廢液387公噸，並節省處理費用約新台幣1,670萬元，兼具環保與營運價值。
增進樹脂吸附效能，綠色製造再進化
TMAH是半導體黃光製程的關鍵化學品，其廢液需經樹脂塔吸附四甲基銨陽離子（TMA+），再透過鹽酸脫附後轉化為TMAC。為友善環境並強化減廢效率，民國113年台積電（南京）廠務部與供應商合作改良系統控制邏輯程式，整合樹脂塔自動氣洗及反洗功能，並透過強陽樹脂與弱陽樹脂（WAC）性能對比分析優化吸附流程，使汙染物去除率達99%、系統處理流量增幅2倍。同時，藉由測試與調整鹽酸濃度及用量操作參數，進一步提高再生TMAC濃度，達到減廢及節省處理費用的雙重成效。
TMAH廢液回收轉化與減廢路徑
台積公司致力深化資源使用價值，秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」原則，將持續推動廢液資源化升級，攜手供應商共同實現環保效益，為半導體產業挹注更多綠色動能。
常見問題
- 什麼是四甲基氫氧化銨（TMAH）？
TMAH為強鹼性水溶液，是半導體黃光製程用量最大的化學品，製程中曝光區域的光阻會反應形成光酸，經TMAH進行酸鹼反應完成顯影作用後，再以超純淨水沖洗完成當層（Layer）圖形。
- 什麼是聯合國永續發展目標（SDGs）第12項？
聯合國制訂17項目標，呼籲全球產官學通力合作，致力於2030年實現社會、經濟與環境各面向的永續發展。SDGs 12 聚焦「確保永續的消費與生產模式」。