台積公司「以廢治廢」新突破，綠色效益逾千萬元

台積公司致力成為全球環保標竿企業，透過「資源高值化行動方案」將廢棄資源轉製為符合品質標準的產品重回廠內使用。針對先進封測製程產出的含鐵蝕刻廢液，廠務團隊自主研發回用技術，利用鐵離子凝聚沉澱的特性，成功將廢液轉換為可回用於廠內廢水處理的氯化鐵替代藥劑，落實「以廢治廢」的綠色創新。截至民國115年10月，此技術已導入先進封測三廠、先進封測五廠、先進封測六廠，累計減少廢液委外處理量920公噸、節省外購藥劑280公噸並降低140公噸碳排放，創造每年新台幣1,900萬元的綜合經濟效益，展現資源循環多元價值。

先進封測製程的錫銀凸塊（Solder Bumping）蝕刻與清洗過程會產生具高濃度鐵離子的廢蝕刻液，過往皆採委外處理。為促進資源活化，台積公司廠務團隊深入剖析廢液成分，發現其中富含高比例的硫酸鐵；為此，團隊規畫「從原理驗證到廠區實作」的二階段策略，積極將此廢液開發為可替代原外購藥劑氯化鐵的再生資源。

在第一階段驗證中，團隊利用廢液中帶正電的鐵離子與廢水中帶負電荷的不純物進行電中和（Charge Neutralization），反應後凝聚成棉絮狀的不溶性膠羽（Floc），如同網子般可捕捉並沉澱微細懸浮物，證實廢蝕刻液具有優異的混凝效果，能發揮與氯化鐵相同的淨水功能；為建立標準化回用機制，以先進封測三廠為研發起點，運用製程研磨廢水進行多組參數的瓶杯試驗（Jar Test），反覆交叉比對並確認最適酸鹼值與加藥量，進而找出最佳調配比例。

在學理與操作參數完備後，團隊於第二階段展開廠區實踐，正式將廢蝕刻液導入先進封測三廠的廢水處理系統混凝程序；確認放流水質與系統運轉效能皆完全合規後，進一步啟動跨廠區複製模式，推廣至其他先進封測廠區，落實廠內資源循環使用最大化的理念。

為深化資源再生價值，台積公司已將此技術納入先進封測新建廠區的標準設計，隨著新廠陸續導入，預估至民國119年將累計減少廢液委外處理量6,300公噸、外購藥劑1,800公噸及減碳980公噸，年創新台幣1億3,000萬元綜合效益；此外，秉持共好精神，亦積極推廣至具相同製程的封測同業，共同實踐綠色製造，擴大資源循環影響力。

• 什麼是「資源高值化行動方案」？

資源高值化行動方案是台積公司永續資源管理執行規畫之一，透過擴大應用廢液轉製為有價再生產品，降低外運量及回用於台積公司製程使用。

• 什麼是聯合國永續發展目標（SDGs）第9項？

聯合國制訂17項目標，呼籲全球產官學通力合作，致力於2030年實現社會、經濟與環境各面向的永續發展。SDGs 9聚焦「建立具有韌性的基礎建設，促進包容且永續的工業，並加速創新」。

• 什麼是聯合國永續發展目標（SDGs）第12項？

聯合國制訂17項目標，呼籲全球產官學通力合作，致力於2030年實現社會、經濟與環境各面向的永續發展。SDGs 12聚焦「確保永續的消費與生產模式」。