秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」原則，台積公司積極透過原物料包材減量行動落實循環經濟，除改良包裝行為外，進一步攜手供應商優化包材回收及再利用能力，首次針對先進製程特用化學品的桶裝包材開發客製化清洗技術，使桶裝包材可重複利用，民國112年4月已成功導入晶圓十五B廠，晶圓十二B廠、晶圓十八A廠亦同步進行驗證，預計民國114年全面導入十二吋晶圓廠區後可年減碳2,000公噸，創造資源循環價值並促進環境永續。

升級清洗技術，實現桶裝包材回收再利用

先進製程特用化學品通常具高純度、高穩定與高反應特性，其桶裝包材亦需具備良好的化學穩定性，為避免桶內殘液影響新一批的特用化學品品質，過往桶裝包材以單次使用為主。台積公司視推動綠色低碳供應鏈為永續營運的關鍵之一，為友善環境並減少桶裝包材使用量，民國110年起與供應商合作啟動桶裝包材再利用研究，針對水基型清洗液開發能有效去除其桶內殘液的清洗技術，透過反覆測試、調整包材處理設備的清洗參數及流程，同時監控清洗後的微量金屬與微粒子，使回收的桶裝包材品質規格與新桶裝包材完全一致，不僅突破一次性使用限制、達到循環再利用效益，亦強化供應商包材清洗技術與流程管理規範，實踐產業共好。

強化供應鏈永續韌性是台積公司ESG五大方向不可或缺的一環，民國112年台積公司亦持續針對溶劑基型清洗液、電鍍液等不同先進製程特用化學品桶裝包材，攜手供應商開發及驗證清洗技術，進而再擴大減碳效益，為民國139年達到淨零排放目標全力以赴。