推動綠色低碳供應鏈是台積公司永續營運的重要策略之一,秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」原則,除開發清洗技術使化學品桶裝包材可回收再利用,台積公司進一步攜手供應商優化桶裝包材製作材料,主動替換含有高關注物質亞磷酸酯(TNPP)的原料,並改良桶底設計,透過凹槽與斜底平衡搭配最佳化,在不影響使用品質及安全的前提下,降低桶內60%化學品殘留量;民國113年7月,新桶裝包材已成功導入晶圓十五B廠、晶圓十八A廠、晶圓十八B廠,預計民國114年全面導入海內外所有廠區後,可年減320萬公升化學品殘留、約570公噸碳排放,增進環境永續與綠色製造能力。
改良桶底設計,兼顧品質與安全
一般化學品桶裝包材底部為一字型設計,使用後易殘留剩餘化學品,導致回收困難度增加。為友善環境並保護人體健康,台積公司於民國111年開始輔導桶裝包材供應商改良桶底結構,以化學機械研磨清洗劑等多項化學品進行測試,藉由平衡搭配凹槽及斜底設計,將桶內剩餘的化學品集中於汲取管吸取位置,可供廠內繼續使用;同時透過化學品供應商針對漏液檢測與桶身強度進行驗證,反覆調整桶裝包材生產參數,除確保化學品存放於桶內的品質穩定度,亦強化擺放及搬運過程的安全性。
此外,為促進國內供應鏈發展,台積公司亦鼓勵桶裝包材供應商來台設廠生產桶蓋、汲取管等大宗零組件,並引導化學品供應商就近選擇桶裝包材使用,降低長途運輸產生的碳排放,提升環境保護。
台積公司攜手供應商投入化學品桶裝包材綠色創新,期盼將此應用與效益拓展至半導體產業以外領域,落實跨業共好。
呼應聯合國第12項永續發展目標─責任消費與生產,台積公司將持續攜手供應商精進綠色製造能力,除化學機械研磨清洗劑外,預計完成氫氟酸、鹽酸、溶劑基型清洗液、電鍍液等特用化學品桶裝包材使用評估及驗證,促進供應鏈永續營運品質與安全,實踐共好。
新化學品桶裝包材推動歷程
與桶裝包材/化學品供應商合作評估、規畫改良桶裝包材
桶裝包材供應商進行桶底設計,並測試品質與安全性
化學品供應商進行驗證,確保化學品於桶內的品質穩定度及搬運安全
新化學品桶裝包材成功導入晶圓十五B廠、晶圓十八A廠、晶圓十八B廠使用
全面導入海內外所有廠區,預計年減320萬公升化學品殘留、約570公噸碳排放
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