台積公司致力實現生態體系共好的永續發展,透過「環境實驗室」強化排放煙道的汙染物檢測與管理措施,為更全面管控汙染排放狀況及提升防制設備處理效能,除空汙檢測、周界環境監測外,民國111年進一步擴大環境實驗室的應用範圍,新增「放流水及洗滌塔水質管理機制」並定期檢測,確保放流水符合科學園區管理局納管標準以及空汙處理設備的高效率穩定運轉;同時,台積公司持續以優於法規的內控基線標準,嚴格管理空氣處理與排放,截至民國112年6月,台灣廠區排放煙道全數完成加強檢測,符合內控基線標準率達98.5%,落實台積公司《環境保護政策》承諾。
基線管理+溯源追蹤,精進防制處理效果
針對半導體製程產生的酸鹼性氣體與揮發性有機氣體,台積公司利用源頭分流搭配多段式防制技術以達汙染物最小排放目標,為更全面掌握廠區空氣排放狀態並提升處理效率,民國108年成立專責環境實驗室,由廠務、企業環保安全衛生處合作訂定優於法規的「排放煙道檢測基線管理機制」,藉此找出排放濃度超過基線的煙道進行改善;為縮短改善期程並符合法規規範,環境實驗室持續精進採樣分析技術,辨識更多元的汙染物並快速提供檢測數據,同時深入調查排放源頭進行溯源追蹤,並提供設備改善後的效能驗證,使廠區更快建立目標汙染物的最佳處理方法,強化整體防制成效。
水汙方面,環境實驗室建立相關檢測技術,可針對廠內放流水及空汙防制設備─洗滌塔供應水,提供29種檢測項目,包括1種氨氮類、5種鹽類及23種金屬汙染物,並依放流水及洗滌塔水質管理機制進行定期檢測,確保放流水合規並避免塔內水質中的酸鹼根離子在特定pH值變化下隨著製程尾氣排放,促進環境永續。
台積公司積極提升環境實驗室檢測能力,預計民國112年針對現址式空氣處理設備開發溫室氣體去除效率檢測技術,並新增放流水的全氟/多氟烷基物質檢測,透過持續拓展檢測項目、全面削減汙染物排放,落實空汙防制全方位管理,以期達成民國139年淨零排放的永續目標。
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