台積公司致力成為循環經濟的推動者，因應原物料需求隨著製程演進持續成長，為精進能資源運用效益，攜手供應商啟動「電子級化學品回收計畫」，針對製程產出的廢棄資源研發再利用技術，將其轉製為電子級產品重回台積公司使用，以封閉循環模式深化資源再生價值；民國112年首次將化學品環戊酮（Cyclopentanone）廢液成功再製為符合台積公司品質規範的電子級環戊酮，11月正式導入先進封測三廠，預計年減新液採購量750公噸、減碳380公噸，落實綠色製造並促進環境永續。

升級精餾與純化技術，廢液化身電子級產品

環戊酮是半導體黃光製程的重要化學品，主要用於溶解及攜離未經曝光區域的光阻；為友善環境並提升環戊酮廢液的再利用價值，台積公司於民國110年第4季起與供應商合作，除將廠內廢液收集後進行分流、強化回收效率，更進一步研發能有效去除廢液雜質的精餾及純化處理技術，經反覆測試、調整蒸餾溫度與廢液停留時間，同時偵測液體中的微量金屬及微粒子含量，使環戊酮回收液的品質規格達到電子級回用標準，並取得品質保證證明（CoA），確認其符合回用物料檢測規範，確保後續生產品質無虞。

除再製電子級環戊酮循環使用，台積公司亦將綠色思維導入供應商化學品回收產線管理，包括蒸餾過程以生質能做為燃料，並將餘熱加溫成熱水後用於鍋爐預熱，整體產線回收水使用比例達96%。此外，經蒸餾塔分離排出的非環戊酮回收物質，則提供廢棄物處理廠商做為輔助燃料，創造資源再利用效益。

秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」準則，台積公司將持續推動電子級化學品回收計畫，與供應商合作研究將不同製程化學品廢液純化為電子級物料的新技術，持續打造綠色循環再生體系，實踐資源永續行動。