身為全球最大的專業積體電路製造服務公司，台積公司致力打造半導體綠色供應鏈。有鑑於製程機台用電量佔全公司能源使用50%以上，加以先進製程機台數量逐年增加，台積公司自民國105年起攜手機台設備商，合作開發半導體節能綠色機台，在新機台引進前即完成更節能設計驗證、安裝節能元件，擴大先進製程機台節能效果，成為全球第一家要求設備商對先進機台導入節能措施的半導體企業。

民國109年，經由台積公司節能團隊不懈的投入，累計提出272項節能行動方案，其中139項節能方案已通過驗證，應用於68種5奈米及未來的3奈米的先進製程機台，並針對17種耗能元件導入高效能零件與節能設計，成功於當年度省下2億度用電量。

台積公司節能減碳委員會自民國107年啟動「新世代機台節能行動專案」，每年邀集全球半導體設備商及元件供應商，舉行超過100場的討論會。民國109年，針對前6大耗電量設備商，台積公司要求其深入分析先進機台模組的耗能參數，並定期召開技術精進會議，共同尋求更節能的創新設計，並透過不斷反覆驗證，開發更具綠色效益的先進機台。同時，也將節能規範納入新機台採購標準規格，落實節能決心。

除了前六大耗能設備商，台積公司亦於民國109年第20屆供應鏈管理論壇，對近700家半導體業界的設備、廠務等供應商，再次重申台積公司綠色製造的重要性與決心，透過宣布當年度公司節能成效、未來節能方針，激勵供應商提出更多創新的節能方案，以擴大深化全體供應鏈節能減碳意識與綜效。民國110年，台積公司將持續與機台設備商合作開發新的節能行動方案，預計將有超過143項節能方案通過驗證，邁向民國119年平均機台設備節能效益20%的永續目標。