打造綠色低碳供應鏈是台積公司實踐永續發展的關鍵之一，除推動供應商改造精餾塔管路將被分離的二氧化碳導回塔內再純化，因應先進製程演進使氫氣需求量增加，為擴大供應鏈原物料管理中的碳捕捉機會點，台積公司鼓勵供應商將天然氣產製為氫氣過程排出的二氧化碳回收，再製為電子級液態二氧化碳回用台積公司；同時協助供應商採購碳中和天然氣，並導入地下管線直供氫氣予台積公司南科廠區，為全台科學園區首件氫氣地管成功案例，提升供應商低碳轉型能力。截至民國113年6月，回用台積公司的電子級液態二氧化碳逾3萬5,000公噸，供應商使用碳中和天然氣年減碳3萬8,000公噸，年省氫氣槽車運輸量逾5,200台、約5萬公里路程，相當於繞行台灣超過50圈，落實產業共好。

回收二氧化碳再利用，友善環境

氫氣是半導體先進製程的重要化學品，一般以蒸汽甲烷重整（Steam Methane Reforming, SMR）技術將天然氣脫硫後與去礦物質水蒸氣進行反應重組，再經一氧化碳高溫轉化器生成電子級氫氣，並連帶產出二氧化碳。為促進環境永續及提升二氧化碳使用效率，民國110年台積公司攜手供應商於製氫廠設置二氧化碳回收純化系統，將其再製為電子級液態二氧化碳，同時與各廠區溝通製程變更、安排入廠驗證品質，確認回用的電子級液態二氧化碳達到廠內製程使用規格，確保後續生產品質符合標準。

除再製並回用電子級液態二氧化碳，台積公司亦推動供應商採購碳中和天然氣，減少製氫過程的碳排放，且考量製程所需氫氣用量增加，為加速運輸效率與安全性，民國108年與供應商、南部科學園區管理局合作於晶圓十八A廠建置氫氣地管，並成為台積公司新建廠區標準設計，不僅節省供應商槽車換車人力及運輸量，亦提升氫氣供應穩定度，達成雙贏。

深化供應鏈永續性是台積公司發展ESG的重要一環，除增加回用電子級液態二氧化碳外，台積公司將持續推廣供應商使用碳中和天然氣，並預計於民國113年10月、民國114年1月分別完成晶圓十八B廠、晶圓二十二廠氫氣地管建置，年省槽車運輸量逾1萬5,000台，一同朝半導體淨零供應鏈目標全力邁進。深化供應鏈永續性是台積公司發展ESG的重要一環，除增加回用電子級液態二氧化碳外，台積公司將持續推廣供應商使用碳中和天然氣，並預計於民國113年10月、民國114年1月分別完成晶圓十八B廠、晶圓二十二廠氫氣地管建置，年省槽車運輸量逾1萬5,000台，一同朝半導體淨零供應鏈目標全力邁進。