台積公司攜手供應商實現循環經濟，打造在地綠色供應鏈，與供應商光洋應用材料科技公司合作，民國109年透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料，成功再製成符合品質標準的靶材，並正式導入量產產線。此舉不僅讓光洋應材成為國內第一家供應高階半導體前段製程靶材的企業，台積公司每年亦成功減少1,800噸廢液，達成120顆殘靶材再生，實現「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理目標。

深化供應商綠色製造能力，帶動國內半導體產業循環經濟作為

台積公司秉持資源循環、永續利用的廢棄物管理原則，積極活化製程所產出的廢棄資源，轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品。民國108年，台積公司廢棄物回收率達96%，由原先的廢棄資源產生者，蛻變成為循環經濟的執行者。

台積公司發揮產業領導者推己及人的正向影響力，針對以往仰賴單一進口來源的靶材，除力行風險管理、確保營運持續不中斷，同時亦由資材暨風險管理組織、晶圓十五A廠與品質暨可靠性組織組成專家團隊，偕同在地靶材製造商光洋應材，推動硫酸銅廢液與殘靶材二項製程廢棄資源活化專案，開發利用再生資源為靶材原料的再製技術，分別於民國107年、民國109年導入台積公司成熟與先進製程，提升供應鏈綠色製造能力。