台積公司導入奈米氣泡洗淨技術，環保與營運雙贏

台積公司力行水資源永續管理，因應全球廠區擴增與先進製程對潔淨度的嚴格標準，台積公司主動精進管路設備清洗程序，自民國114年起導入奈米氣泡洗淨技術，運用奈米氣泡吸附微粒及破裂時的微衝擊力，搭配自主開發的「氣泡品質即時監測與操作參數自動調校機制」，有效減少管路微粒雜質70%、化學藥劑用量減半，進而縮短新建廠驗機時程達35天。截至民國115年9月，此技術已導入晶圓十二A廠及全球研發中心，未來全面導入台灣十二吋晶圓廠區後，預估年省超純水使用量76萬立方公尺，相當於304座奧運標準游泳池水量，創造約新台幣1億元的綠色價值，實踐環境永續與企業成長共生。

智慧監控雙重把關，品質效率皆升級

晶圓廠區的化學品供應系統需定期以超純水進行設備清洗，以維持穩定供應與製程品質。為進一步優化水資源利用率及作業時效，台積公司廠務團隊將奈米氣泡洗淨技術結合廠內運轉經驗，建立「氣泡品質」與「潔淨度」雙重監控屏障。首先透過即時監測確認奈米氣泡粒徑、數量及表面電荷，若未達標準則啟動自動調校參數至最佳狀態；接著檢驗清洗過程中的潔淨品質，若不符合製程規格則自動重啟清洗程序。此套雙閉環智慧洗淨機制，不僅減少化學藥劑使用，更透過自動化把關，確保每次作業皆符合高品質標準。

為擴大技術效益，台積公司分二階段推廣此機制：第一階段聚焦於既有十二吋晶圓廠區的化學機械研磨液（CMP）供應系統，導入奈米氣泡超純水清除管路殘留微粒，除強化潔淨度外，亦使晶圓防缺陷（Defect-free）能力提升62%。第二階段則延伸至新建廠區量產設備及預洗桶槽，透過全面優化清洗流程，使驗機時程提前35天達標，兼顧綠色製造與擴產效率。

呼應聯合國永續發展目標（Sustainable Development Goal, SDG）第6項─淨水與衛生，台積公司除優化自身用水機制與清洗品質外，亦持續發揮綠色創新影響力，已將此技術推廣至供應鏈夥伴，協助桶槽供應商從源頭精進潔淨度，共同落實水資源永續管理，打造半導體共榮生態圈。

• 什麼是聯合國永續發展目標（SDGs）第6項？
  聯合國制訂17項目標，呼籲全球產官學通力合作，致力於2030年實現社會、經濟與環境各面向的永續發展。SDGs 6聚焦「確保所有人都能享有水及衛生及其永續管理」。

• 為什麼台積公司要導入奈米氣泡洗淨技術？有哪些成效？
  因應全球廠區擴增與先進製程對潔淨度的嚴格標準，台積公司主動精進管路設備清洗程序，運用奈米氣泡吸附微粒及破裂時的微衝擊力，搭配自主開發的「氣泡品質即時監測與操作參數自動調校機制」，有效減少管路微粒雜質70%、化學藥劑用量減半，進而縮短新建廠驗機時程達35天。