因應氣候變遷是企業永續經營的責任，台積公司承諾民國139年達到淨零排放並發布《氣候相關財務揭露報告》，除自身推動氣候風險控管與減緩行動，亦積極帶動半導體供應鏈落實低碳管理，鼓勵供應商針對精餾塔打造碳捕捉設備，將工業級液態二氧化碳（LCO2）精餾過程中的殘氣再次導入製程內進行二次純化，再製為符合台積公司品質規範的電子級液態二氧化碳，提升綠色供應鏈韌性，截至民國111年8月，已成功捕捉二氧化碳500公噸。

改造精餾塔管路，捕捉二氧化碳導回塔內再純化

當工業級液態二氧化碳於精餾塔中純化後，高純度的二氧化碳會進入冷凍機製成電子級液態二氧化碳，是半導體製程的關鍵原料，而純度較低的二氧化碳則會被分離排出。供應鏈營運過程產生的碳排放是台積公司極為重視的一環，為友善環境並提升二氧化碳使用效率，台積公司在不影響原有製程品質的前提下，於民國110年第1季啟動「供應商液態二氧化碳之碳捕捉計畫」，鼓勵供應商透過改造精餾塔塔頂的管路，增設回收管線捕捉被分離的二氧化碳，將其導回塔內進行再次純化，同時搭配製冷效果更佳的冷凍機優化提純效率至90%以上，有效提升能源運用效益。

打造槽車殘液回收系統，碳捕捉效益再升級

台積公司持續擴大供應鏈管理中的碳捕捉機會點，亦建議供應商針對其回廠槽車設計二氧化碳殘液回收系統，增設管線將槽車內殘餘的液態二氧化碳汽化後，透過冷凍機冷凝成液態二氧化碳，再進入原料槽重新導回精餾塔進行二次純化，今年7月已完成設備建置並試運轉，預估未來正式上線後每年可減碳約1,000公噸；此外，對於製造過程會直接排放二氧化碳的供應商，台積公司同時鼓勵其設置碳捕捉設備優化減碳效益，一同為發展永續的半導體供應鏈全力以赴。