提升能源使用效率是台積公司落實淨零排放的重要策略之一。因應先進製程演進，廠內極紫外光（Extreme Ultraviolet, EUV）微影設備數量持續增加，為兼顧技術發展與環境永續，台積公司攜手供應商推動「EUV動態節能計畫」，經實測產線設備每年可節省的能源占其全年總能源消耗8%；民國114年9月起，已陸續導入晶圓十五B廠、晶圓十八A廠及晶圓十八B廠，今年底將全面導入海內外所有EUV設備，並列為新建廠區標準設計，預計至民國119年可累積節電1億9,000萬度，相當於減碳10萬1,000公噸，達到節能與產能並重的雙重效益。
產線自動化再升級，提升EUV用電效能
台積公司積極厚植綠色管理於日常營運，並驅動整體產業鏈低碳轉型，為強化能源運用效益，民國113年與設備供應商合作啟動節能計畫，成功將EUV微影設備瞬間電能消耗降低44%，並依據廠內生產需求與產線自動化系統導入相關處理機制，不僅有效降低能源消耗，同時兼顧產能穩定，實現環保的綠色生產流程。
EUV微影設備動態節能
呼應聯合國永續發展目標（Sustainable Development Goal, SDG）第7項─可負擔的潔淨能源，台積公司持續擴大節能範疇，除EUV微影設備動態節能外，亦評估導入深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）設備及微影製程應用以外的模組設備，進一步提升整體生產的能源使用效率，以創新技術實踐永續發展。