台積公司 - 台積公司優化PFAS檢測，效率提升86%

台積公司以強化綠色化學品管理做為提升產品品質的關鍵策略，將所有製程皆不使用危害性化學品全氟烷基物質（Per- and Perfluoroalkyl Substances, PFAS）列為永續目標之一，並制訂「源頭管制、同業合作、環境監測、汙染防制」四大管理策略，於永續報告書中揭露每年執行進展。面對近年來國際對PFAS議題的關注，台積公司持續優化PFAS檢測能力，運用「過濾直測法」將檢測流程由105分鐘縮短為15分鐘，效率提升86%，同時避免處理過程中的汙染風險；此方法已通過美國第三方檢測機構Eurofins驗證具可靠性，檢測數據亦獲得美國國家環境保護局（U.S. Environmental Protection Agency, USEPA）認可，截至民國114年3月，已導入海內外所有十二吋、八吋晶圓廠及後段封測廠應用，進一步精進環境、安全與健康管理。

PFAS四大管理策略

策略	說明
源頭管制	持續評估採用較低危害性的短碳氟鏈PFAS或非PFAS，替代較高危害性的長碳氟鏈PFAS 透過綠色採購程序，於研發與變更前階段審核新原物料／供應商，要求其聲明所提供的原物料不含有大於4個碳氟鏈的PFAS，並須揭露含有小於或等於4個碳氟鏈的PFAS
同業合作	參與世界半導體協會（WSC）及國際半導體產業協會（SEMI）的PFAS因應計畫，與同業及供應商合作研究PFASs各類應用替代技術及環境監測技術
環境監測	開發PFAS檢測技術並建立自我檢測能力，以監測PFAS排放狀況
汙染防治	開發與建置含極微量PFAS廢水的分離、濃縮與處理技術，盡可能減少排放至環境中

實驗證明+第三方認證，確保檢測可靠性

PFAS泛指所有全氟及多氟碳化合物，因具防水、抗油、抗汙與耐熱特性，被廣泛應用於工業製造及民生消費品；由於PFAS的化學性質穩定，能長期存在於環境中，且其碳氟鏈長度會影響溶解度與揮發性，導致生物蓄積及生態毒性，各國已逐步立法管制使用。台積公司建置各廠區PFAS處理系統，並開發採樣檢測技術定期監測放流水PFAS濃度，考量既有檢測流程的固相萃取法（Solid Phase Extraction, SPE）處理過程費時、容易產生誤差，為提升執行效率及分析品質，由廠務實驗室測試改良PFAS檢測流程，將樣品經濾膜過濾後，直接進入液相層析串聯質譜儀（LC-MS/MS）進行分析。

為驗證新檢測流程的有效性，廠務實驗室進行穩定度實驗，將相同樣品分別進行短期（同日）檢測與長期（跨日）檢測，結果顯示誤差範圍均可控制在正負10%以內，優於USEPA規定的正負20%標準；回收率測試方面，將兆分之一（ppt）濃度範圍的物質添加至樣品中，測得的濃度上升值與理論上升值之間的誤差在100正負20%以內，亦優於USEPA的100正負30%標準。為確保此檢測方法具可靠性，廠務實驗室與Eurofins對相同樣品進行量測比對，結果顯示過濾直測法與Eurofins使用的固相萃取法所得到的檢測結果，十億分之一（ppb）間的濃度測值趨勢一致，且達到線性回歸的決定係數(R²) >0.96的高度相關性，因此可實際應用於PFAS檢測流程。

台積公司改良PFAS檢測流程

過濾直測法除提升放流水PFAS檢測效率外，台積公司亦評估連接廢水處理系統與液相層析串聯質譜儀，並導入此方法進行線上（On-line）連續監測，可更即時確認排放水質；同時持續開發氣體中的PFAS分析技術，並應用於各廠區空汙檢測，以期全面掌握PFAS的潛在排放，提升產業安全與環境永續發展，落實負責任的營運模式。