台積公司與工研院聯手優化中央洗滌塔設計，製程酸鹼尾氣削減率提升40%

台積公司落實《環境保護政策》，持續發展空汙防制技術，民國109年率業界之先研發沸石濃縮雙轉輪技術，有效去除95%以上的揮發性有機氣體，民國110年更進一步與工研院聯手設計強效型中央洗滌塔，透過結構性優化塔體設計，強化除汙性能；今年10月成功導入晶圓十八B廠，製程酸鹼尾氣削減率提升40%，並列入未來新廠標準設計，持續以行動實踐綠色製造。

塔體除汙結構最佳化，削減廢氣又延壽

半導體製程所產生的尾氣主要為揮發性有機氣體及酸鹼性氣體，台積公司堅持源頭分流，經過現址式設備處理超過90%的空氣汙染物後，再將剩餘的微量無機酸鹼的氣體送至中央洗滌塔，進行水洗中和處理，但因濃度太低，所以處理效率難提升。台積公司從過去採樣檢測資料中發現，酸性尾氣會以氣態、液態及固態（粒狀物）三種型態呈現，且塔體內容易發生流場不均的問題，進而降低中央洗滌塔效率。

因此，台積公司廠務團隊於民國107年起與工研院攜手合作啟動「中央洗滌塔最佳化專案」，以雙膜理論建立符合中央洗滌塔實際操作參數的模型，根據不同尾氣型態設置最佳除汙構件，將塔體高度由8公尺提升至9.3公尺，延長尾氣滯留塔體內的時間；同時，針對粒狀汙染物增設前濾層與自潔設計，透過灑水裝置將其洗除，不僅可延長塔體保養週期，更可以降低切換防制設備時產生的風險。