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台積公司改良壓縮乾燥空氣系統冷卻機制,提升節能成效
台積公司改良壓縮乾燥空氣系統冷卻機制,提升節能成效

提升能源使用效率是台積公司強化氣候韌性的關鍵策略,為實現民國139年淨零排放承諾,台積公司積極創造更多節能減碳機會點,與供應商合作改良壓縮乾燥空氣(Compressed Dry Air, CDA)系統的冷卻機制,以廢熱回收溫水進行預冷作業,成功節省冰水用量80%並達到節電效果,截至民國112年6月,已導入晶圓十八廠第4期廠區,節電650萬度、減碳3,300公噸,晶圓十二廠第8期廠區、晶圓十八廠第5期與第6期廠區、先進封測6A廠區亦同步進行驗證,深化綠色營運量能。

回收溫水替代冰水預冷,升級節能效益

壓縮乾燥空氣系統由空壓機、儲氣筒、乾燥機及過濾器所組成,主要將空氣壓縮、除濕並過濾後傳送至無塵室,其中空壓機的前、中、後段熱交換器過往皆由冰水系統供應12℃冰水以利冷卻。為更精進系統運轉與冰水使用效益,台積公司於民國109年攜手供應商啟動「壓縮乾燥空氣系統冷卻機制改造專案」,針對空壓機設計變更與供氣溫度的穩定性進行評估;經多次改造測試後發現,在確保冷卻效果及供氣品質無虞的前提下,以28-30℃回收溫水取代12℃冰水預冷空壓機前段與中段熱交換器、搭配後段維持12℃冰水控溫的冷卻模式,不僅有效降低冰水系統負載、提升節能成效,且完成預冷作業的溫水還可供應外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit, MAU)的預熱及再熱盤管使用,最大化資源利用價值。

壓縮乾燥空氣系統冷卻機制改造前後差異
台積公司廠務節能行動再創新,節電650萬度、減碳3,300公噸

呼應聯合國第7項永續發展目標,台積公司不斷擴大節能效益範疇,將改良後的壓縮乾燥空氣系統列為新建廠標準設計,預計民國113年完成晶圓十四廠第8期廠區、晶圓十八廠第7期與第8期廠區、先進封測6B廠區導入,預估可年省電4,000萬度、減碳2萬360公噸,相當於52.6座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量,持續實踐綠色創新,朝永續共好未來邁進。

壓縮乾燥空氣系統改造執行時程
台積公司廠務節能行動再創新,節電650萬度、減碳3,300公噸

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