台積公司致力實踐綠色製造，持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率，繼引領業界開發世界級半導體綠色機台，更在不影響生產機台效能的前提下，攜手應用材料公司與附屬設備供應商針對非生產區（Sub-fab）的附屬設備打造「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」，並已導入晶圓十五B廠80種製程、588台生產機台所屬的2,351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統，達成年度省電1,340萬度、減少13,800公噸碳排放量，成功創造新台幣8,500萬元的節能效益。

依生產機台所需能耗自動調變，實現全時段動態節能

半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，為提高能源使用效率，民國105年，台積公司攜手供應商開發及導入「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」，將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑，根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，使其可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

除了節能模式，台積公司與供應商依照半導體協會標準，進一步開發附屬設備的睡眠模式（Sleep Mode）與休息模式（Rest Mode），當生產機台於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。此外，台積公司並持續依據去除效率驗證結果，優化附屬設備運轉控制層級及其參數，以提升能源使用效率，並降低氮氧化物（NOx）產生，達到節能與環保的雙重效益。

導入ISO 50001能源管理系統+AI技術，能源使用更精準

為更系統化落實節能行動並確保成效，民國109年，台積公司將「ISO 50001（Energy Management System, EnMS）能源管理系統」導入iSystem™，根據iSystem™收集附屬設備的能耗資料，建立能源績效指標（EnPI）與能源基線（EnB），自動計算節能量；同時與內部資訊技術單位合作，開發建置iSystem™異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端，透過AI與機器學習技術自動偵測、即時通報能源使用異常狀況，亦可藉由大數據分析獲得最佳的運轉操作參數，極大化能源使用效率。

為更擴大節能效益與使用範圍，台積公司亦尋求與其他半導體設備供應商合作，所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制，目前除了晶圓十五B廠持續進行應用開發與建置外，晶圓十八廠亦於民國110年開始導入，並將逐步推展至台灣廠區所有十二吋晶圓廠，預計未來每年可省電8,200萬度、減少84,600公噸碳排放量，創造新台幣5億2,000萬元的節能效益，持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。