台積公司帶動產業鏈綠色製造能力,協助供應商「光洋應材」成為國內首家供應高階半導體前段製程靶材企業
透過不斷測試與品質優化,台積公司民國109年成功將再生靶材導入量產製程
台積公司帶動產業鏈綠色製造能力,協助供應商「光洋應材」成為國內首家供應高階半導體前段製程靶材企業

台積公司厚植供應鏈循環經濟力,活化製程廢棄資源為再生靶材

台積供應商光洋應材,躍升國內首家供應高階半導體前段製程靶材企業
徐寬成
李柏毅
彭昱齊

台積公司攜手供應商實現循環經濟,打造在地綠色供應鏈,與供應商光洋應用材料科技公司合作,民國109年透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料,成功再製成符合品質標準的,並正式導入量產產線。此舉不僅讓光洋應材成為國內第一家供應高階半導體前段製程靶材的企業,台積公司每年亦成功減少1,800噸廢液,達成120顆殘靶材再生,實現「廢棄物產出最小化,資源循環使用最大化」的廢棄物管理目標。

深化供應商綠色製造能力,帶動國內半導體產業循環經濟作為

台積公司秉持資源循環、永續利用的廢棄物管理原則,積極活化製程所產出的廢棄資源,轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品。民國108年,台積公司廢棄物回收率達96%,由原先的廢棄資源產生者,蛻變成為循環經濟的執行者。

台積公司發揮產業領導者推己及人的正向影響力,針對以往仰賴單一進口來源的靶材,除力行風險管理、確保營運持續不中斷,同時亦由資材暨風險管理組織、晶圓十五A廠與品質暨可靠性組織組成專家團隊,偕同在地靶材製造商光洋應材,推動硫酸銅廢液與殘靶材二項製程廢棄資源活化專案,開發利用再生資源為靶材原料的再製技術,分別於民國107年、民國109年導入台積公司成熟與先進製程,提升供應鏈綠色製造能力。

台積公司跨組織合作,協助供應商提升再生靶材品質標準

資材暨風險管理組織
  • 發動資源再生計畫,尋找合適的供應商參與
  • 風險管理
晶圓十五A廠
  • 於研發測試產線進行靶材樣品測試
  • 協助光洋應材提升靶材品質
  • 導入量產
品質暨可靠性組織
  • 進行樣品檢測實驗與成分分析
  • 分析報告數值,監控樣品品質

案例一 硫酸銅廢液製成再生銅管,活化為靶材原料

案例二 貴金屬殘靶材回收熔煉,再製成新靶材循環製程使用

在推動半導體創新的同時,台積公司亦致力提升供應鏈的永續水準。透過和光洋應材的合作,我們成功開創了濺鍍靶材的循環經濟模式,為半導體材料的製造及使用寫下嶄新一頁。

- 柯宗杰,台積公司資材供應鏈管理處處長

台積公司透過循環經濟實現其環保理念,早已是全台灣甚至全球半導體產業典範。光洋應材以此為標竿,以『學習典範,成為典範』自期,感謝台積公司挹注成功經驗與指導,與我們攜手創造雙贏的經濟模式。

- 馬堅勇博士,光洋應用材料科技公司董事長