台積公司晶圓十四廠第五期再生水系統
台積公司晶圓十四廠第五期再生水系統
台積公司晶圓十四廠第五期再生水系統

台積公司落實綠色製造,促建全台首座民營再生水廠

侯祖光
李明利
孫讀文

台積公司實踐綠色製造,持續透過「開源」與「節流」並行的方針強化用水效率,深耕水資源風險管理、拓展多元水資源及水污染防治技術開發三大水管理策略,積極呼應聯合國永續發展目標第六項—「淨水與衛生」。

發展工業廢水再生技術,將再生水用於半導體晶圓製程

台積公司秉持「拓展多元水資源」策略,自民國104年起積極發展再生水技術,成功降低廠內廢水,目前自產所得的再生水,不只達到半導體製程用水標準,排放水質亦符合法規放流規定,締創國內再生水發展的重要里程碑。

民國109年,台積公司進一步於南部科學園區落實多元水資源政策,與南部科學園區管理局簽約,促建「台積電南科再生水廠」,預計於民國110年啟動園區工業廢水再生工程,導入工業再生水做為台積公司晶圓製程用水;初期規畫每日可供給再生水約0.5萬噸,民國112年每日則將增加至二萬噸再生水。

台積公司再生水實施重要時程

註:民國110年後供水期程及水量,依據台積公司與政府單位(南部科學園區管理局、台南市政府)簽訂之再生水用水契約內容計算整理

支持政府水資源管理政策,承諾購買民生再生水

除回收工業廢水,針對民生汙水再生計畫,民國106年內政部營建署、經濟部水利署、台南市政府水利局亦合作籌畫與興建永康再生水廠及安平再生水廠,台積公司全力支持政府再生水政策,除了提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗,亦積極表達採購再生水意願。民國113年,台積公司預計每日將購買永康及安平兩處再生水廠所生產的再生水共4.7萬噸。

身為綠色製造的堅定推動者,台積公司積極承諾並使用工業廢水與民生污水之再生水,以降低自來水用水量;同時提供再生水相關經驗與技術,使再生水符合半導體製程對水質要求的高標準,期許藉此承諾拋磚引玉,帶動產業界對再生水的使用意願,加速再生水相關技術與產業發展,以實際行動落實社會共好、永續未來。