台積公司推動綠色製造,積極以創新思維提升能資源使用效率,持續透過機器學習方法優化冰水系統節能模型,進一步開發「單機能耗異常偵測」、「多機運轉負載精準預測」、「系統壓力控制最佳化」三大功能,民國111年1月成功導入晶圓十五A廠,截至11月總計節電200萬度、減碳1,000公噸,民國112年將陸續導入台灣所有十二吋晶圓廠區並列為新建廠標準設計,預計再創年節電量1億度、減碳5萬公噸。
台積公司人工智慧冰水系統持續升級
持續開發節能模型,精進能源使用效率
冰水系統主要由冰水主機、冷卻水泵、冷卻水塔、冰水泵、熱回收等附屬設備所組成,晶圓製程須仰賴冰水系統進行冷卻,穩定無塵室溫濕度以利機台運作;為更精進冰水系統運轉效益,台積公司廠務針對冰水單主機、冰水多主機以及冰水系統分別開發機器學習模型,打造三大創新功能,提升設備運轉可靠度、強化能源使用效率。
台積公司人工智慧冰水系統三大創新功能
台積公司積極投入綠色創新,除持續針對冰水系統開發節能模型優化運轉效率外,亦評估改造硬體設備,透過軟、硬體雙重升級創造更多節能機會與效益,朝民國139年達到淨零排放的永續目標邁進。