台積公司改裝外氣空調箱洗滌加濕系統,減少洗滌水泵80%用電量

台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度

陳俊宏
曹志明
張富鈞
張智能

台積公司致力精進能源使用效率,繼改造測試機台節省壓縮乾燥空氣(CDA)用量同步達到省電效果後,進一步針對無塵室中的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit, MAU)洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計,,共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝,同時列為新建廠標準設計,並導入413台新設外氣空調箱,總計節電1億4,900萬度,持續以具體行動落實綠色製造。

研發濕膜板強化洗滌效果,有效節電80%

傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒介,水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒,進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物,以維持無塵室的進氣品質。因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸,無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間,洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。為提高能源使用效率,台積公司攜手供應商共同研發濕膜板,藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜,以提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積,使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物,不僅強化洗滌效果,且水泵馬力變小,可減少80%用電量,達到節能效益。

台積公司外氣空調箱洗滌加濕系統持續升級

既有廠區改裝+新建廠區導入,節能成效更提升

台積公司致力擴大節能成效,預計至民國111年年底既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝,增加節電1,100萬度,新建廠區則持續進行新機導入行動,實踐綠色製造承諾,朝永續共好目標邁進。