台積公司攜手供應商針對測試機台開發智能CDA流量控制系統,有效減少CDA用量又省電
台積公司攜手供應商針對測試機台開發智能CDA流量控制系統,有效減少CDA用量又省電

台積公司機台改造綠色行動,減碳4,473公噸、省電891萬度

攜手供應商開發「智能壓縮乾燥空氣(CDA)流量控制系統」,CDA用量節省70%
張進祥
吳憲昭
陳建呈
蔡弘益

台積公司實踐綠色製造,致力優化製程能源使用效率,除以二大策略、6項行動方案擴大節能成效外,在不影響機台效能的前提下,攜手設備供應商針對測試機台開發「智能壓縮乾燥空氣(Compressed Dry Air, CDA)流量控制系統」,透過精準控制CDA流量輸出開關,不僅節省測試機台70% CDA用量,亦達到省電效果。,已導入針測機(Prober),每年減少碳排放量公噸、省電891萬度。

擷取機台參數精準控制CDA輸出,省量又節電

晶圓測試的目的為確認每片晶圓的可靠度與良率,依,部分測試機台由廠務系統全時段供應CDA以確保低溫時仍保持乾燥,維持測試環境的穩定性。因半導體製程快速演進使測試需求持續增加,為提升機台運作與CDA使用效率,測試營運處於民國109年第3季啟動「智能CDA流量控制系統開發專案」,與設備供應商合作改造測試機台管路、控制閥件及控制軟體系統,透過擷取機台參數,可依據測試環境需求自動控制CDA流量開關,非低溫測試環境時即關閉控制閥,達到有效節省CDA用量與電力的效益。

台積公司「智能CDA流量控制系統」運作原理

身為地球公民,台積公司持續推動節能工程,提升能源使用效率,為下一代留下美好環境。

- 楊斐杰,台積公司測試營運處處長

持續擴大測試機台改造行動,節能效益更升級

台積公司預計民國111年第4季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新,並將智能CDA流量控制系統列為新建先進封測廠測試機台標準設計,預估至民國115年可年省4,000萬度電、減碳20,080公噸,相當於座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量;台積公司亦規畫將智能CDA流量控制系統導入測試機(Tester),持續擴大節能效益,朝能源使用效率最佳化目標邁進。

台積公司智能CDA流量控制系統執行期程