台積公司首創業界晶圓清洗機台熱水循環系統，省電1,400萬度

台積公司實踐綠色製造、持續優化製程能源使用效率，民國108年，領先業界打造「晶圓清洗機台熱水循環系統」，透過回收未經使用的熱水循環利用機制，成功減少80%的熱水浪費，截至11月已完成29組熱水設備改良，共省下1,400萬度電。

耗能生成的熱水，滴滴不浪費

供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備，以往為避免管線內形成死水、造成雜質汙染，在機台未運作期間，仍須不間斷的輸出熱水以確保管線通暢。為有效控管熱水設備用電量，台積公司營運技術委員會與機台承攬商攜手研發改良方案，利用「熱水循環」的概念，在原供水管路加裝一道儲熱水槽，連接機台端未經使用過的熱水排放管路，有效回收未經使用過的熱水。

儲熱水槽回收熱水再利用

現在改良後的熱水設備，將優先使用儲熱水槽內的回收熱水進行加熱，成功避免未經使用之熱水直接廢棄的能源浪費。當儲熱水槽水量不足時，才由原供水管線進水，與回收熱水混和後加熱使用；與回收熱水混和後的水溫亦較初始水溫高，減少加熱時能量消耗，加上額外增設的回收管線保溫機制，雙管齊下讓回收過程的溫差降至最低，達成節能效益。

熱水循環開枝散葉，落實回收有效節能

改良的熱水設備，經台積公司研發組織驗證後，已優先在晶圓十八廠使用，未來將由營運技術委員會全面推廣至晶圓十二廠、晶圓十四廠及晶圓十五廠等十二吋晶圓廠區。

經過使用分析，每台改良的溫水設備依製程使用條件不同，可以節省約30%的耗能，自2019年1月起至11月，已節省1,400萬度電，預計民國114年以前將可省電1億度，持續邁向台積公司民國114年累積節電量28億度的永續目標。