台積公司機台管路綠色升級行動，年節電4,461萬度

台積公司晶圓清洗機台熱水循環系統2.0，省電38萬度

模組化設計提升改機便利性，目標民國119年全面導入省電4.5億度

台積公司晶圓傳送盒清洗機台，100%回收熱水再利用

台積公司持續創新先進製程機台綠色行動，目標於民國119年節水2,800萬噸、省電11億度

二大策略及6項行動方案，列入新機台採購標準規格

台積公司攜手供應商創新研發節水控制系統，目標民國111年起年省38萬噸純水及1,533萬度電