台積公司秉持對有害物質管理的承諾，確保製程使用的化學品完全符合國際法規與客戶要求，民國105年即領先國內業界針對危害性化學品N-甲基吡咯烷酮（N-Methyl-2-Pyrrolidone, NMP）啟動減量計畫，民國111年10月成功完成機台修改及替代製程驗證，達成於永續報告書設立「NMP使用量減少95%」的年度目標，約當年減7,800公噸二氧化碳當量之碳足跡，持續提升綠色製造能力。

有害物質管理循環模式，跨廠區合作減量NMP

台積公司有害物質管理以QC 080000有害物質流程管理系統為標準，基於保護人體健康與降低環境衝擊，秉持能不用就不用、能少用就少用的原則，依規畫、執行、查核、行動的管理循環模式持續改善有害物質使用。

針對工業普遍使用的化學品NMP，台積公司主要將其做為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑，為降低人員暴露與環境汙染風險，台積公司超越法規要求，於民國105年自主推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計畫」，7奈米（含）以下先進製程完全排除使用 NMP，既有廠區則陸續進行替代作業，並訂定民國119年台灣廠區達成100% NMP替代的目標。

藉由與客戶緊密合作，台積公司各廠區工程部、製造部及濕蝕刻技術委員會除針對製程進行替代性材料評估外，因替換過程亦須改變設備硬體與製程參數，在不影響產品良率的前提下，歷經多次配方調整、反覆測試，以達製程最適化，透過跨廠區合作於民國111年10月完成去光阻濕式清洗製程機台修改，同時建立機台維修保養機制，確保後續生產品質無虞。

全方位的有害物質管理是台積公司提升品質能力的重要一環，台積公司將進一步推動海外廠區執行NMP減量計畫，同時針對少量含NMP的光阻液進行替代可行性評估，以期達成100%不使用NMP的長期目標，保護員工與產業供應鏈安全，促進環境永續。