呼應聯合國第13項永續發展目標─氣候行動,台積公司積極以最佳可行技術落實汙染物最小排放目標,為提升空氣排放品質,針對空汙防制設備運作過程產生的氮氧化物(NOx)啟動減量計畫,民國111年攜手供應商改造防制設備內的燃燒爐結構並調節最佳燃燒溫度,找到目標汙染物及氮氧化物生成的最小排放點,在不影響製程尾氣處理效能的前提下,經實測每年可降低65%氮氧化物排放;截至民國112年8月,已成功導入晶圓十八廠第7期與8期廠區、先進封測六B廠區,並列為新建廠區標準設計,持續實踐綠色製造使命。
低氧燃燒+流場控制技術,減少氮氧化物生成
晶圓製造過程中所產生的揮發性有機化合物(VOCs)及全氟烷化合物(PFCs),可透過空汙防制設備以高溫裂解方式去除,但高溫分解的同時,空氣中的氮氣(N2)亦會與氧氣(O2)反應生成氮氧化物。台積公司經全檢分析後發現,氮氧化物主要來自揮發性有機氣體防制設備與現址式處理設備的燃燒形式,其中揮發性有機氣體處理過程因製程尾氣進入一般燃燒爐後與火焰接觸直接燃燒,母火火焰峰值溫度達1,600°C;為降低氮氧化物排放,台積公司新增流場均勻裝置、導入外氣進入爐內做為助燃空氣,並設置燃料噴孔進行分段預熱,第一階段以低溫反應降低空氣含氧濃度,第二階段再將低含氧濃度空氣引入燃燒,使母火火焰峰值溫度降至1,300°C,減少氮氧化物生成。同時,利用燃燒流場控制技術改變製程尾氣進入爐內的位置,新增爐頭遮罩使其不會直接通過高溫火焰區,亦減少熱力型氮氧化物(Thermal NOx)產生。
除優化揮發性有機氣體防制設備燃燒爐結構與處理流程,台積公司亦持續進行現址式處理設備的改善作業,民國112年於晶圓十八廠第8期廠區針對燃燒式現址式處理設備進行機台改造及導入測試,預計完成效率評估並確立參數後將逐步推行至晶圓二十廠,減少更多氮氧化物排放,達到環境友善目標。
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