台積公司節能團隊檢視低耗能管路加熱系統,確認節電成效

台積公司導入低耗能管路加熱系統,民國114年起每年再省8,000萬度電

江振家
張聖杰
葉彥甫
高子棋

台積公司實踐綠色製造、持續優化製程能源使用效率。民國109年,領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程,透過高效熱絕緣體減少熱散失,成功的使機台加熱管減少約25%能耗。目前已導入晶圓十五廠,預計將於民國114年進一步導入台灣既有的全數十二吋晶圓廠區、晶圓十八B廠的3奈米及未來的2奈米製程,每年預計將節省8,000萬度電。

為管路穿上高效能隔熱外套,抓住「熱」也節能

供應晶圓生產機台的氣體管路,以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞,必須在機台運作期間,對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫,確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能,而忽略表面材質的保溫表現,導致熱能易失而造成電力浪費。

由台積公司節能減碳委員會引領的節能團隊,攜手供應商利用「降低熱損失」的概念,運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質,取代玻璃纖維做為供氣管路外層。奠基於氣凝膠的低熱導系數及絕佳的隔熱特性,台積公司節能團隊進一步層層測試,強化其耐久度、熱導系數、微粒子測試及省電驗證後,成功領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」,民國109年3月於晶圓十五廠優先試行,有效降低管路表面溫度、減少25%能耗,全面減少熱散逸及熱能耗損。

提升能源使用效率,台積公司節能團隊持續尋找各種潛在的節能機會點,不僅將方法平行複製於既有廠區,亦第一時間設定為新建廠區的標準化規格,減少機台修改的風險,使節能的力道最大化。

- 汪業傑,台積公司智能工程中心處長

平行複製「低耗能管路加熱系統」,台灣廠區民國114年起全面省熱節能

低耗能管路加熱系統除通過台積公司晶圓十五廠的品質與節能驗證,亦已獲得SGS第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。此系統已列為新建廠區的標準設施,亦將導入晶圓十八B廠3奈米及未來的2奈米製程;既有的國內十二吋晶圓廠區則預計於民國114年前完成系統更新,屆時每年將額外減省8,000萬度電,台積公司節能團隊亦將發揮綠色製造的創新力量,持續追求機台節能最大化。