實現綠色製造，十二吋晶圓廠TMAH削減量達成年度目標

實踐循環經濟，達成環境零衝擊是台積公司念茲在茲的綠色製造目標。台積公司繼民國101年領先業界建造「氫氧化四甲基銨（TMAH）回收再利用系統」，民國108年進一步將系統從「高濃度回收」向「低濃度全處理」推進。經大量實廠測試，成功開發適用各種水質的處理方法，十二吋晶圓廠TMAH平均濃度已穩定維持低於8ppm水準，遠優於法規60ppm規範；相較民國101年回收系統建置初期削減幅度高達73%，達成民國108削減量的永續目標。

台積公司優化TMAH處理改善流程

台積公司建立業界最嚴格的廢水分類管理系統，每年透過上千筆組合系統參數調校與各類樹脂種類測試，持續提升系統穩定度與處理效能。民國108年更進一步強化管理系統，投注大量廠務人才與時間，並透過與三福化工與長春化工的異業合作，評估各種水質與樹脂種類特性、調查分析原物料使用與機台排放情形，以不間斷的測試找出各晶圓廠最佳處理曲線，制定出「全面收集、精煉再生、二次處理」三大削減策略。

策略一：全面收集，納入機台低濃度清洗水

民國108年間，台積公司進一步集中處理低濃度廢液（<1,000ppm），規劃專管回收機台清洗水至TMAH 系統處理，取代原本的直接放流。

策略二：精煉再生程序，降低樹脂塔再生廢液濃度

半導體業一般多以陽離子樹脂塔吸附TMAH，吸附飽和後由強酸進行再生，再生後的高濃度廢液由協力廠商進行回收，低濃度則調配放流，此為廢水中的TMAH濃度主要來源。台積公司經過反覆測試，納入氣混洗功能改良再生程序，由氣體壓出再生廢液，提升清洗效率，有效降低90%清洗後廢液濃度。

策略三：二次處理，回收樹脂塔再生廢液

樹脂塔再生過程中低濃度TMAH 酸液，因含硫酸根離子（SO42-）無法重新吸附，過去多直接排放至廢水中。台積公司民國108年強化系統，將再生廢液導入陰離子樹脂塔去除硫酸根離子後，即可重新導回陽離子樹脂塔進行有效吸附處理，進一步降低TMAH總排放濃度。

穩健邁向環境零衝擊目標

目前台積公司全部十二吋晶圓廠已趨近TMAH零排放，下一步將針對八吋晶圓廠及後段封裝廠區進行系統優化，目前正積極測試透過二段式納濾逆滲透膜，降低逆滲透膜濃縮水水量，以改善TMAH廢液中光阻無法藉樹脂直接捕捉的現況，待測試成功可望降低50%放流濃度，全廠區同步邁向環境零衝擊目標。

台積公司八吋晶圓廠及後段封裝廠TMAH系統優化計畫