台積公司攜手中鼎集團打造全球首座工業再生水回用至半導體製程的再生水廠

台積電南科再生水廠通水,全球首創工業再生水回用半導體製程

盧清榮
侯祖光
李玫
許哲彰

台積公司致力推動水資源永續管理,積極落實製程節水與廢水分流,廠區水回收已達一滴水使用3.5次的成效;為更精進用水效率,台積公司投入再生水技術發展,攜手政府單位開發符合自來水供水標準的民生廢水再生流程及工業廢水回收技術,並與中鼎集團合作打造全球首座工業再生水回用至半導體製程的再生水廠,民國111年9月「台積電南科再生水廠」完工並正式通水,年底前每日可供應1萬公噸工業再生水,朝多元水資源循環再生的永續目標邁進。

集結產官學創新技術,精進再生水品質

水的品質、純度與穩定來源對晶片生產過程至關重要,為更善用每一滴水資源,台積公司於民國104年起投入再生水技術研發,建置模廠並以實廠廢水進行測試,透過反覆調整處理程序強化水質;有鑑於先進製程潔淨度需求提升與系統運轉優化,為使再生水品質符合製程規格,台積公司亦集結工業技術研究院、中鼎集團、國立臺灣大學、國立陽明交通大學等產官學界力量,開發導入低能耗生物處理、低能耗汙泥處理、高效能尿素去除等創新技術,並與台南市政府及南部科學園區管理局合作建置供水模式,藉由多重且即時自動化水質監測,確保再生水供應品質。

台積電南科再生水廠是台積公司南科廠區再生水製造、偵測與供應中心,除回收南部科學園區汙水廠放流水以產製工業再生水外,並於永康及安平汙水廠市政再生水進入廠區前把關水質;目前台積公司亦投入研發以廢熱進行濃縮廢水回收與汙泥資源化技術,避免濃排廢水外流,進一步降低環境衝擊,預計民國115年南科再生水廠產能將提升至每日供水3萬6,000公噸,持續降低自來水用量需求並友善環境。

台積電南科再生水廠供水模式

拓展多元水資源為台積公司水管理永續發展的重要策略,台積公司將持續擴大再生水應用範圍,今年已啟動竹科再生水廠專案,預計民國114年每日可供應工業再生水1萬公噸,導入2奈米製程廠區並配合市政再生水供應,未來可達成竹科新建廠區100%使用再生水,目標於民國119年台灣廠區再生水替代率達60%以上,提高組織營運韌性,實踐水循環永續行動。

台積電公司再生水技術發展重要時程