台積公司致力培育產業人才,圖為林裕庭副處長(中)捐贈雙鎗型離子束顯微鏡予國立交通大學材料科學與工程學系師生
台積公司致力培育產業人才,圖為林裕庭副處長(右)捐贈雙鎗型離子束顯微鏡予國立交通大學材料科學與工程學系
雙鎗型離子束顯微鏡影像解析度可達4奈米,提升學術研究之材料分析效能與成功率

台積公司捐贈大學半導體機台設備,培育半導體人才

莊榮祥
林裕庭
侯敦暉
張珮琳

產學合作專案是台積公司人才培育的重要平台。為孕育產業人才,民國109年11月,台積公司品質暨可靠性組織捐贈雙鎗型離子束顯微鏡(Dual-Beam FIB Microscope)予國立交通大學,成為國立交通大學第一台高解析度離子束顯微鏡。藉由雙鎗型離子束顯微鏡,未來國立交通大學研究人員可直接於八吋晶圓上進行取樣,透過離子束精確的剖析,影像解析度可達4奈米,運用掃描式電子顯微鏡即時觀察,大幅提升材料分析效能與成功率。

台積公司自民國104年起推動產學合作研究專案(Joint Developing Project),民國108年共投入逾台幣1億1,300萬年度研究經費,與7所國內大學與15所海外大學展開79件產學合作研究專案,累計超過百件美國專利申請。台積公司品質暨可靠性組織身為計畫重要一環,攜手國內頂尖大學,透過提供研究經費、實驗樣本,並視校方資源協助強化教學硬體設備,協助師生深入半導體尖端技術研究;截至民國109年,品質暨可靠性組織與共完成16項研究專案,主題範疇涵蓋材料、製程與晶片設計等,部分研究成果已導入台積公司先進製程開發流程。

專案合作期間,合作系所反映校內既有研究儀器設備與業界規格出現顯著落差,限制研究範圍與進展,造成所學與業界實務斷層。台積公司品質暨可靠性組織評估後,亦於民國103年起,將公司因應先進製程所需汰換之優質分析與量測設備捐贈學術使用,並把關設備運輸及安裝過程、確保設備性能,以及協助校方相關保管人員訓練。

台積公司品質暨可靠性組織攜手學界推動各領域研究專案

感謝台積公司對國立交通大學人才培育資源的重視。市面上高階材料分析儀器價格不斐,學校系所難以配置,此次台積公司捐贈的離子束顯微鏡,橋接學生所學理論與實務,幫助學生學以致用,將大大為所內教學與突破性研究加油,期待與台積公司進一步產學合作的機會。

- 陳智博士,國立交通大學材料科學與工程學系特聘教授兼系主任

在5G、高效能運算晶片趨勢帶動下,半導體技術需求和挑戰也與日俱增,其中材料的發展將扮演關鍵的角色。除了先進製程所需要的新材料外,在先進封裝晶片的異質整合亦需要新興的半導體材料。台積公司將持續致力培育產業人才,與國內大學院校密切合作,加速新興半導體材料研發與分析技術提升。

- 何軍,台積公司品質暨可靠性組織副總經理

接續今年與國立交通大學的合作計畫,台積公司品質暨可靠性組織預計民國110年上半年進一步與國立清華大學攜手,針對半導體分析展開深度合作研究,同時亦將爭取更多暑期實習名額,讓合作的大學系所學生進一步學以致用,弭平產學落差。