晶圓傳送盒是承載晶圓的裝置,台積公司攜手供應商開發「節水控制系統」並導入晶圓傳送盒清洗機台
台積公司攜手供應商開發「節水控制系統」並導入晶圓傳送盒清洗機台,成功使機台節水24%

台積公司攜手供應商創新研發節水控制系統,目標民國111年起年省38萬噸純水及1,533萬度電

許誌修
倪其聰
古紹延
鄧善允

台積公司致力優化製程能資源使用效率,持續以創新技術實踐綠色製造,繼領先業界打造晶圓清洗機台熱水循環系統後,進一步針對清洗機台開發「節水控制系統」,並於民國110年第2季通過驗證,透過精準控制純水使用量,使機台節水24%。截至今年8月,已成功導入晶圓十二B廠、晶圓十八A廠,預計民國111年全面導入國內的十二吋晶圓廠,目標每年將節省38萬噸純水及1,533萬度電。

漸進式開關水閥精準控制熱水流量,節水又省電

民國110年上半年全台水電供應嚴峻,台積公司積極尋找機台的節水省電機會點,發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉,透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定,於未運作期間仍需持續供水;為提高用水效率,智能工程中心、晶圓十二B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數,共同研發漸進式開關的水閥,依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡,當機台未運作時,即以漸進方式減少供水,不僅有效省水,亦能同時節電,預估每年可減少碳排放量約7,800公噸,相當於20座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量。

台積公司持續推動節能工程,提升能源使用效率,將洞見化為實質影響力,使節能力道最大化。

- 汪業傑,台積公司智能工程中心處長

台積公司晶圓傳送盒清洗機台節能行動持續升級

持續創新節能設計,朝機台節能最大化邁進

「節水控制系統」已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施,既有的國內十二吋晶圓廠區預計於民國111年第2季前完成系統更新,屆時預估每年將節省38萬噸純水及1,533萬度電。為更擴大節能效益,台積公司將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的「熱水回收循環系統」,預計於民國110年第4季進行評估作業,持續朝機台節能最大化的目標努力。

台積公司晶圓傳送盒清洗機台節能行動規畫期程