台積公司攜手供應商創新化學濾網應用,累計創造逾16億元減廢效益

台積公司領先業界持續創新化學濾網應用,累計創造逾16億元減廢效益

侯祖光
張貴琳
林瑞昆
許波蓮

隨著半導體先進製程演進,氣態分子汙染物()控制技術已成為提升晶圓良率的關鍵。為減少因過濾AMC而產生的化學濾網廢棄物,台積公司改良濾網結構,延長其使用壽命,,共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸,約當31座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量,成功創造

減廢1.0:改良濾網吸附效能,延長使用壽命,有效減廢逾70%

AMC為環境中沉降於晶圓表面形成單分子層薄膜的,由於半導體隨著技術進步日益縮小,對於無塵室生產環境的潔淨度要求亦趨嚴格,導致濾網用量增加。台積公司觀察廠區使用情況,發現化學濾網對酸性氣體、鹼性氣體、有機物3種物質吸附能力不同,因此廠務處、資材供應鏈管理處攜手供應商開發長效型化學濾網,透過調整濾網吸附有機物的濾料比例,將化學濾網的使用壽命延長1倍,並自民國107年起大量採用。

為最大化濾網使用效率,民國108年,台積公司全面改用拆解式化學濾網,將原本整合型不可分割的化學濾網,進一步根據酸性氣體、鹼性氣體、有機物不同的吸附特性進行結構分割,除了降低更換作業可能造成的人因傷害,整體而言,透過改良濾網吸附效能及結構,已有效減少超過70%的濾網廢棄物。

減廢2.0:研發濾網再生功能,使其可重複使用,總計減廢達90%

民國109年,台積公司再次攜手供應商透過優化濾網結構,以物理方式恢復其初始吸附效能,使濾網可重複使用,民國110年3月已完成驗證,預計民國111年將陸續導入台灣廠區所有晶圓廠,未來可望每年再減少20%濾網廢棄物,總計減廢達90%。

台積公司化學濾網使用進化史

註:濾網排列組合僅供參考

台積公司化學濾網應用持續升級

同時,台積公司亦針對使用的濾網進行結構改良,透過降低提升其過濾與節能效果,預計民國111年導入後,每年將可節電3,500萬度,持續朝節能減碳、循環再生的永續目標邁進。