用於分離出可回收之高純度矽餅的壓濾機
用於分離出可回收之高純度矽餅的壓濾機

台積公司首創全物理性晶背研磨廢水再生技術

再生高純度工業級矽產品導入鋼鐵業,實現循環經濟
邱柏翔
陳宥吾
吳福安
徐立銘

循環經濟與源頭減量為台積公司廢棄物管理的重要策略。台積公司民國109年領先業界,以全物理壓濾之廢水再生技術取代,處理半導體封裝製程大宗廢水—晶背研磨廢水;截至民國110年1月已減省超過55公噸化學藥劑用量,同時產製品亦由原本的無機性汙泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。民國109年12月已成功輸出第一批矽產品,後續將應用於鋼鐵產業,做為煉鋼用脫氧劑原料,用創新實現循環經濟。

化學藥劑零添加,創造工業級再生原料

晶背研磨廢水主要由水及矽顆粒組成,具回收經濟價值潛力。業界一般藉由添加化學品藥劑使汙泥絮凝成團、沉降分離,不僅耗用化學品,亦增加廢棄物中不純物質,降低再利用可能性。台積公司「晶背研磨廢水資源化計畫」於民國108年啟動,由廠務處攜手供應商投入研究,應用矽顆粒特性評估,選用適合物理性過濾的濾布規格,經3個月反覆系統測試,成功將廠內既有板框壓濾技術延伸應用,分離出可回收之高純度矽餅。

台積公司晶背研磨廢水資源化流程

民國109年7月,晶背研磨廢水資源化系統於先進封測三廠正式啟動,截至民國110年1月,共計回收逾15,000公噸晶背研磨廢水,成功產製30公噸工業級矽產品。同時,全新應用之晶背研磨廢水再生技術,領先業界以全物理性的板框壓濾程序,完全取代添加化學藥劑,壓濾後的產水經逆滲透過濾處理後符合台積公司次級用水標準,可重新導入台積公司廠內再使用。截至民國110年1月,晶背研磨廢水資源化計畫已為台積公司增加約12,750公噸製程回收水量。

攜手廠商,持續精進工業級矽產品品質

為進一步達成市場對矽產品的規格期待,台積公司於民國109年12月實地走訪下游產業、潛在收購端,瞭解後端加工程序與應用後,積極規畫精進方案,內容涵蓋製造流程及壓濾機操作流程優化、系統更新、產製標準調整等,逐步提高矽產品純度,改善產品為塊狀型態,以利收購端更快速便捷地導入應用,降低再利用能耗。晶背研磨廢水資源化計畫預計將於民國111年擴大導入目前興建中的先進封測二廠第二期、先進封測六廠,朝資源永續的目標持續邁進。

台積公司晶背研磨廢水資源化計畫