台積公司利用廢硫酸回收系統,讓循環經濟生生不息

台積公司工業級硫酸零外購,再創循環經濟里程碑

鄭凱倫
柯建盛
蕭千城
劉駿

台積公司實踐綠色製造,以「廢棄物產出最小化,資源循環使用最大化」的作業方針施行廢棄物管理,其中針對製程排放量最高的「廢硫酸」不斷鑽研再生利用技術,成功於民國108年達成工業級硫酸零外購、100%使用再生硫酸的目標;同時,更與供應商攜手建置業界第一套電子級硫酸回收試產線,朝再生硫酸重回製程使用的目標再邁進一程。

硫酸資源化里程碑

廢硫酸回收再使用,100%取代外購工業級硫酸

隨著產能規模擴充,為避免廢棄物產出量同步增加,台積公司不僅修改公司章程,提高使用後物料資源化機會,同時亦以實際行動落實循環經濟。

針對以往委外清運處理的廢硫酸,台積公司廠務處綠色製造團隊持續研發,經一年持續實驗評估技術可行性、運轉安全及經濟效益,於民國103年開發出業界首創之「」,成功回收廢硫酸再生為工業級硫酸。截至民國108年,台積公司全數晶圓廠區之廢水處理系統已全面改用再生硫酸,回收再利用量達9.5萬公噸,減廢逾新台幣二億元。

民國108年廢硫酸資源化各用途佔比

9.5萬公噸

廢硫酸廠內回收量

100%

廠內再生硫酸取代外購
工業硫酸比例

>2億元

回收減廢效益(新台幣)

資源高值化行動,廢硫酸重回製程使用

繼「鹽酸法除雙氧水系統」成功再生成工業級硫酸,如何使廢硫酸重回製程使用,成為台積公司念茲在茲的目標。民國105年台積公司與供應商攜手展開「循環經濟3.0」行動,合作開發高階、高值化回收技術,並於民國108年成功建置第一套電子級硫酸回收試產線,未來將逐步擴大廢酸回收比例,將委外處理的廢硫酸回收再製純化為原物料,回到廠內自用,讓循環經濟的永續行動生生不息。

台積公司廢硫酸循環經濟流程