台積公司領先業界,導入「機械式蒸汽再壓縮(MVR)」技術,將硫酸銨廢液轉製為有價的工業級硫酸銨結晶產品

業界首創,台積公司轉製氨氮廢水為有價工業級原料

吳聖培
曾俞勳
劉駿
丁瑞華

隨著產能及研發規模持續擴充,台積公司採取「廢棄物產出最小化,資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中,針對廢硫酸及氨氮廢水,繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液;台積公司再次領先業界、進一步導入「機械式蒸汽再壓縮(MVR)」技術,將硫酸銨廢液「點石成金」,轉製為有價的工業級硫酸銨結晶產品。技術導入迄今將屆一年,截至11月,已減少原先需委外處理的廢硫酸約94,000噸、硫酸銨廢液約1,200噸,創造約新台幣1.4億元的效益(含減少委外再利用費用及再生產品銷售費用),朝減廢的永續目標不斷邁進。

實現循環經濟,回收製程廢硫酸及氨氮廢水再利用

民國104年,台積公司針對晶圓製程所產生的廢硫酸及氨氮廢水,主動開發「廢硫酸及氨氮廢水前處理系統」,以廠內再生後的廢硫酸為吸收劑,結合氨氮廢水,轉製為硫酸銨廢液委外循環使用,此舉不僅符合科學管理局規範之氨氮納管標準,同時亦有效減少廢硫酸委外處理量。

台積公司廢硫酸及氨氮廢水再利用里程碑

民國107年,台積公司領先業界、導入MVR技術、建立「硫酸銨除水結晶系統」以實現循環經濟,並以晶圓十五A廠為起點,將仍屬廢棄物的硫酸銨廢液,進一步轉化為有價的工業級硫酸銨產品。民國108年,硫酸銨結晶產出量已逾200噸,隨著MVR技術持續導入台積公司其餘晶圓廠區,預計將於民國111年達到100%循環再生(含民國111年前完成興建並啟動生產的新建晶圓廠產量),開創硫酸銨廢液零委外的減廢里程碑。

廢硫酸與氨氮廢水結合再生為有價資源循環利用

讓資源重回製程,電子級物料純化技術開發中

台積公司除持續提升廢硫酸及氨氮廢水轉製硫酸銨結晶的再利用比例,同時亦投入發展工業級硫酸銨結晶的電子級純化技術,計畫將硫酸銨產品提出氨氣後壓縮,以蒸餾的方式純化成電子級氨氣,如此一來便可將硫酸銨高值化、轉化為半導體級原料重回台積製程使用,達成物料再生及循環經濟的永續目標。