台積公司強化回收循環體系,從加強前端分類及與處理奠基,再延續與升級回收濃縮水處理再利用,最終強化廢棄物再生技術及延伸至其他產業
台積公司強化回收循環體系,從加強前端分類及與處理奠基,再延續與升級回收濃縮水處理再利用,最終強化廢棄物再生技術及延伸至其他產業
案例分享

台積公司實現循環經濟,十二吋晶圓廠銅離子排放濃度提前達標

提升水汙染防治處理效能,台積公司強化廢水回收技術、增加副產物價值
許哲彰
陳澤榆
王俊元

實踐綠色製造使命,水汙染防治技術開發是台積公司水管理的重要一環。繼高濃度含銅廢液再製銅棒的創舉,民國108年,台積公司進一步執行「源頭分流、中間處理、次產物價值提升」銅離子減廢減汙三部曲,持續優化處理效率、削減廢液排放濃度,並將廢棄物成功濃縮製成高價值產物,民國108年九月,全部十二吋晶圓廠已提前達成削減排放濃度小於0.1ppm(飲用水銅離子標準為1ppm)的年度目標。

分流各濃度廢水,最佳化配方調整,減少化學品添加量

為找出處理銅廢液的最適加藥量,台積公司全面溯源檢討原物料使用與排放情形,歷經多次加藥測試、評估及分析判別結果,找出不同濃度的最適加藥量,並依此研究成果,民國108年在十二吋晶圓廠廠區全面實施低濃度含銅廢液(<2ppm)分流處理系統,有效降低因錯合離子生成、影響銅捕捉效率及鍵結解離強度問題,提升20%至30%的單位藥量銅離子捕捉效能,同時削減化學品添加量、減少化混副產物、避免銅溶出的二次汙染。

台積公司廢水銅離子處理改善流程

延續回收精神,再處理次產物濃縮水,促進資源再生

除強化低濃度廢液回收效益,民國108年,台積公司針對一般濃度的含銅廢液,除進行符合法規標準的高壓逆滲透處理流程,更進一步將處理後的廢水,重新導回廢水處理系統進行二次處理,成功降低放流水銅濃度至0.06ppm,改善幅度達14%。同時,回流處理的含銅廢水,亦可利用混凝沉降形成污泥,再製為基底建材。

建置低濃度廢水提濃系統,提升次產物價值,全力實現 循環經濟

台積公司民國105年引領業界之先,首創硫酸銅再製電子級銅物料循環使用,民國108年,再進階評估建置「再生廢水電鍍回收」系統,將廢液濃縮電鍍成銅棒,打破以往中低濃度含銅廢液經由金屬捕捉劑形成汙泥再製建材的循環,提升經濟價值。該系統藉由樹脂與再生廢液濃度的選用與調配,將陽離子樹脂塔吸附的低濃度銅離子,經強酸(鹽酸)再生提濃後,以電鍍方式將銅離子再製為銅棒,待此系統建置完成,可望100% 取代既有的放流處理流程,進一步實現零含銅廢液排放、資源利用再生的循環經濟願景。