案例分享
台積公司攜手承攬商打造安全零缺失工作環境
民國106年底，台積公司攜手承攬商，根據「工廠生產不中斷」及「保障人員工作安全」二大目標，針對預防廢氣洩漏，研發改良方案。民國107年，成功以半導體業界首創的手法，強化管路材質、調整配管，不僅降低職場安全衛生風險，打造「安全零事故」的工作環境，更進一步將成果分享業界，促進產業共好。
強化管路材質，提升耐用年限
廠齡越高，工廠管路老化風險亦隨之提高。儘管既有廢氣管路鍍膜材質合乎耐酸鹼使用規格，但隨著使用年限及極端製程溫度影響，為了防堵腐蝕與洩漏風險，台積公司工安及廠務部門透過比較各種耐酸鹼防護材質的分子結構，並評估製作品質及成本，自民國107年將風管內層鍍膜強化為一體成形內襯，除能有效降低防護層厚鍍膜不均問題，更增加防護層厚度達20倍 ，大幅增加管路耐用年限60%以上。
製作一體成形強化內襯
創新管路材質比較
| 材質 | 分子結構 | 可製作厚度(毫米) | 耐溫(℃) | 密度(克/立方公分) |
|---|---|---|---|---|
| ETFE (乙烯/四氟乙烯共聚物) |
長鏈結構 | 0.3 | 150 | 1.7 |
| PFA (過氟烷基化物) |
立體結構 | 3.5 勝 |
260 勝 |
2.2 勝 |
改良配管手法，提高效益
此外，台積公司與廢氣管路配置承攬商觀察管路製作與安裝流程，發現在台積廠內自行裁切調整長度的管路，因摺邊處鍍膜造成應力破壞，防護強度較未經裁切品弱，在與承攬商模擬管內流體碰撞管壁路徑後，決定調整管路安裝方向，將摺邊弱點由迎風面改為背風面，成功避開管路二次加工所產生的摺邊弱點衝擊，大幅降低五成的管路接點腐蝕風險。
廢氣管路配置手法改良
分享創新經驗，強化供應鏈永續品質
台積公司與廢氣管路配置商合作優化配管強度，不僅有效維持製程穩定，也提供更安全的工作環境。截至民國107年底，共舉辦三次經驗分享會，鼓勵承攬商將改善手法帶入其所承包的半導體同業廠房，共計781家企業直接或間接受惠。民國107年參加經濟部團結圈競賽，台積公司進一步將廢氣管路改善經驗分享給更多產官學界人士，亦獲金塔獎肯定。
廢氣管路強化進程
