以具體行動落實聯合國永續發展目標,台積公司積極捍衛工作環境安全衛生,領先國內業界導入「歐盟EN 14175-3局部排氣櫃效能測試標準」,降低化學品操作人員健康風險,迄今全數十二吋晶圓廠區皆已完成驗證,八吋廠區則依據十二吋晶圓廠區驗證結果持續進行改善並採購合規的排氣櫃,預計於民國109年年底完成作業;同時進一步輔導供應商遵循標準,預計將於民國110年協助5家第一階供應商達標。
領先業界導入歐盟標準,強化員工安全衛生與能源使用效率
半導體生產各階段的調配、分析、清潔、測試作業多與化學品使用相關,業界普遍在實驗室及零件清洗室設置排氣櫃,以排除作業過程散逸的化學物質,降低人員危害風險。為確保排氣櫃有效捕集危害物質,並避免無效的排氣系統運作造成能源耗費,台積公司考量職業衛生與能源使用效率,於民國108年導入優於法令的EN 14175-3測試標準,標準化管理化學性相關的職業衛生暴露風險。

通風排氣櫃是職業衛生暴露控制的重要手法,台積公司率先提出效能驗證並顧及能源考量與相關危害控制,是推動職業衛生重要的宣示與貢獻。
因應EN 14175-3測試標準改善案例
案例A | 案例B | |
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改善前 | 廠牌A排氣櫃拉門半開時,逸散氣體濃度大於0.01ppm | 廠牌B排氣櫃排氣效能符合EN 14175-3標準,但產生高度噪音 |
未符合 EN 14175-3 事項 |
應小於或等於0.01ppm | 無 |
改善後 | 職業安全衛生團隊透過檢測實驗,利用可視化氣流,發現該排氣櫃設計在拉門下緣產生渦流。經調整抽氣風量,已成功使氣體濃度符合測試標準 | 進一步檢測發現,廠牌B排氣櫃僅配置一支排氣管,需透過高風速與靜壓補集氣體,因此產生高度噪音。職業安全衛生團隊要求廠商增設一支排氣管,將可成功降低噪音值,避免作業人員噪音危害風險 |
台積公司攜手供應商,合力打造安全衛生的半導體供應鏈
實現負責任的採購者角色,台積公司導入EN 14175-3測試標準的同時,亦於民國109年7月起將EN 14175-3測試標準納入供應商輔導項目中。以5家業務最相關、可直接適用通過台積公司驗證之排氣櫃的第一階供應商為首,台積公司提供供應商輔導與生產現場稽核,預計民國110年,這5家供應商將成功達成EN 14175-3測試標準。
以落實EN 14175-3測試標準為起點,台積公司企業環保安全衛生處於民國109年發起「供應端之化學物質足跡計畫(Chemical Footprint Program)」,結合外部專業資源,全方位推展可驗證的化學品減量作為,包括攜手技術發展組織,自研發階段即導入避免使用CMR物質的綠色思維、從供應商端執行防護完整性監督等,攜手上下游供應鏈,積極落實產業永續管理。