沸石濃縮轉輪導入潔淨氣體進行脫附，揮發性有機物廢氣排放濃度降低23%

實踐綠色製造使命，台積公司致力空氣汙染防制。針對揮發性有機物廢氣削減，利用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發有機物排氣，廢氣去除效率穩定維持95%至97%，遠優於「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」排放削減率應大於90%的規範。

秉持促進環境永續的初衷，台積公司持續開發新技術提高空汙防制成效。民國107年，台積公司新竹廠區的晶圓十二A廠採用「潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪」技術，針對既有揮發有機物排氣防制設備進行驗證改良，大幅降低23%揮發性有機氣體排放濃度、整體削減率提升0.7%，不僅有效降低揮發性有機氣體排放量，更讓當年度揮發性有機物總排放量不僅未隨新廠產能上升增加，反較民國106年降低。

揮發性有機氣體排放濃度改善成效

潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪改善做法

潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪技術源自民國106年晶圓十二A廠的空汙改良專案，原理是利用吸附區處理後的潔淨氣體取代製程廢氣，做為供應冷卻區的氣源，提高脫附效率，有效降低揮發性有機物排放濃度。

民國108年，此項創新技術由晶圓12A廠延伸擴展，目前已完成晶圓12廠第四期、第五期導入工程，預計於第四季完成晶圓12B廠全數廠區施作，並於民國109年將晶圓十四廠及晶圓十五廠全數改善完成。

潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪推廣期程表